Senzor vlažnosti definiran je kao elektronički osjetljivi element/uređaj koji mjeri relativnu vlažnost okoliša. Kapacitivni senzori vlažnosti su najčešći, a senzorski materijali su uglavnom polimeri, litijev klorid i metalni oksidi.
Njihovi oblici pakiranja uključuju TO pakete, jednostruke-pakete (SIP) i male okvirne pakete (SOP). Učinkovitost senzora vlage može se odrediti kalibracijom sa zasićenom otopinom soli, a koriste se u scenarijima praćenja okoliša kao što je akvakultura. Također su često integrirani sa senzorima kao što su TVOC senzori za upotrebu u pametnim kućnim uređajima kao što su sustavi klimatizacije svježeg zraka.
